不同行业的氯化氢对纯度要求不同，工业级氯化氢和化学级氯化氢应用较为广泛，高纯度氯化氢应用如下。
    高纯度氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相刻蚀，去除钠离子。此外，高纯度氯化氢也用于金属表面的化学处理，激光用于混合气体、薄膜生产及碳纤维表面处理。我国过去大多从美国、日本等地进口电子级氯化氢，近年来我国电子工业所需化学气体的研制在技术上取得了许多突破和发展。
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