现在的电子行业对氯化氢气体的使用越来越多，随之要求也越来越高。高纯氯化氢是指纯度高于99.999%的氯化氢气体。除了对纯度要求高外，对氯化氢气体的质量要求也非常严格。
    随着微电子工业向大尺寸、高集成化、高均匀性、高完整性方向迅速发展，对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机械腐蚀的电子级氯化氢也提出了新的要求。除了要求纯度为99.999%以上以外，还要求氯化氢的THC、H2O、金属离子等有机杂质的含量越低越优选。
    电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相刻蚀，去除钠离子。此外，高纯度氯化氢也用于金属表面的化学处理，激光用于混合气体、薄膜生产及碳纤维表面处理。我国过去大多从美国、日本等地进口电子级氯化氢，近年来我国电子工业所需化学气体的研制在技术上取得了许多突破和发展。
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